美国布鲁克公司苏全民博士做客宁波材料所科技大讲堂
10月17日下午,美国Bruker Nano 公司原子力显微镜部资深科学家苏全民博士做客宁波材料所科技大讲堂,并作了题为“扫描探针技术在工业领域纳米尺度表征技术的挑战”的学术报告。新能源所所长韩伟强研究员主持报告会。
苏全民在报告中介绍了当前工业领域的几个最新技术,包括鳍式场效晶体管(Fin Field-Effect Transistor,FinFET)和热辅助磁记录技术(HAMR),阐述了这几项技术对纳米尺度的表征提出的新挑战,分析对比了当前透射电子显微镜(TEM)、扫描电子显微镜(SEM)及原子力显微镜(AFM)在工业界进行纳米尺度表征的优缺点。苏全民还介绍了“PeakForce Tapping”技术的原理以及远红外技术(IR)、纳米尺度核磁共振(NanoNMR)和AFM相结合的技术。应用“PeakForce Tapping”技术,AFM在表征FinFET时的横向分辨率已经可达10nm以下,成像质量明显优于传统的“Tapping”模式;通过IR和NanoNMR得出的成份信息更有助于对材料进行全面的表征,尤其在分析纳米尺度高分子材料方面有独特的优势。苏全民的报告引起了与会人员极大的兴趣,李润伟、卢焕明、秦璐昌等研究员现场与他进行了深入的交流。
报告前,苏全民还到公共技术服务中心原子力显微镜实验室进行了现场指导。
苏全民,博士,现任布鲁克公司原子力显微镜部高级主任,从2008年开始引领AFM产品线的技术发展方向。苏全民拥有专利23个,发表论文70余篇。2001年获得美国“百大科技奖”(R&D100 Awards),2012年获得“Microscopy Today最佳产品奖”。
苏全民在报告中
苏全民现场指导
(公共技术服务中心)