12月2日，西南交通大学陈磊教授、肖晨研究员应邀来访中国科学院宁波材料技术与工程研究所，并分别作了题为“原子级抛光/改性协同调控”和“机械化学能量复合驱动原子级去除机理研究”的邀请报告。海洋关键材料全国重点实验室、原子尺度与微纳制造实验室共计40余名师生参会交流。

报告中，陈磊围绕原子级抛光技术、原子级改性调控、原子级同步去除与摩擦学交叉等方面，深入阐述了团队近年来的研究进展及亮点成果。同时，面向高端装备、航空航天等核心零部件的超高精度、超强性能需求，分析了从材料-工艺-装备系统研究方面的原子尺度制造加工典型应用，并从摩擦学、二维材料表界面等角度指出了未来研究方向。

肖晨聚焦半导体制造对亚纳米级表面粗糙度、纳米级形态加工精度及近零表面损伤层的极端需要，重点介绍了团队在表面/亚表面损伤机制、原子/分子迁移规律、原子尺度去除加工等方面的工作进展。提出了“机械化学能量复合驱动”的表面原子级无损伤加工理论，展望了相关研究在未来半导体材料、光学材料超精密加工领域的广阔应用前景。

现场报告生动深刻，学术氛围热烈。报告会后，与会师生围绕原子级抛光、表面性能调控、原子尺寸摩擦与腐蚀控制等内容进行了深入讨论和交流。

陈磊，西南交通大学机械工程学院教授，主要从事高端芯片、航空航天等领域的原子级抛光与表面性能调控研究。主持国家重点研发计划、国家工信部“揭榜挂帅”项目、国家自然基金重点/优青/原创项目等20余项。在Nature Communications、PNAS、PRL、ACSnano等期刊发表SCI论文100余篇，授权国家发明专利22项，获教育部自然科学奖一等奖，中国稀土学会二等奖等。担任6个学术期刊(青年)编委。

肖晨，西南交通大学前沿科学研究院/机械工程学院研究员，博士生导师，入选国家级青年人才计划，长期从事半导体先进制程和高端光刻机关键部件超精密制造与运维延寿研究。曾任荷兰ASML纳米光刻先进研究中心博士后、阿姆斯特丹大学物理系博士后，美国宾夕法尼亚州立大学化工系访问学者。发表Nano Lett.、JACS、PRL、Carbon等论文70余篇，其中一作/通讯作者SCI论文30余篇。主持国家自然科学基金、四川省科技厅等项目多项。

报告会现场

报告会现场

（海洋关键材料全国重点实验室 汪晓什）