专利名称：一种基体表面纳米复合Me-Si-N超硬涂层的制备方法
专利(申请)号：ZL201310264796.7
申请日期：2013-06-27
授权日期：2016-05-11 00:00:00
发明人：汪爱英; 王振玉; 张栋; 柯培玲
其他发明人：
专利权人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所