专利名称：一种具备力反馈控制的五轴联动抛光系统
专利(申请)号：ZL201310078929.1
申请日期：2013-03-12
授权日期：2016-06-15 00:00:00
发明人：郑华文; 左国坤; 王云峰; 陈建华; 宋涛; 徐佳琳
其他发明人：
专利权人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所