专利名称：用于研究多元薄膜结构和性能的实验装置
专利(申请)号：ZL201310652374.7
申请日期：2013-12-05
授权日期：2017-10-31 00:00:00
发明人：宋振纶; 聂霞; 冒守栋; 晏敏胜; 郑必长
其他发明人：
专利权人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所