专利名称：抛光方法及系统
专利(申请)号：ZL201410071861.9
申请日期：2014-02-28
授权日期：2017-11-10 00:00:00
发明人：夏庆华; 肖可; 闵孟斌; 金勤晓
其他发明人：
专利权人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所