专利名称：氧化物薄膜晶体管及其制备方法和反相器及其制备方法
专利(申请)号：ZL201510274195.3
申请日期：2015-05-26
授权日期：2018-03-06 00:00:00
发明人：曹鸿涛; 王妹; 梁凌燕; 张胜男; 罗浩; 李秀霞
其他发明人：
专利权人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所