专利名称：一种三维微/纳机电开关及其制备方法
专利(申请)号：ZL201410692942.0
申请日期：2014-11-26
授权日期：2018-06-26 00:00:00
发明人：郭建军; 易志然; 许高杰
其他发明人：
专利权人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所