中国科学院宁波材料技术与工程研究所

一种扫描探针显微镜中的探针、其制备方法及探测方法

专利名称:一种扫描探针显微镜中的探针、其制备方法及探测方法
专利(申请)号:ZL201410493965.9
申请日期:2014-09-24
授权日期:2018-10-19 00:00:00
发明人:李润伟; 陈斌; 刘宜伟; 王保敏
其他发明人:
专利权人:中国科学院宁波材料技术与工程研究所