专利名称：高通量PECVD装置
专利(申请)号：ZL201820744630.3
申请日期：2018-05-18
授权日期：2019-01-11 00:00:00
发明人：项晓东; 邬苏东; 张欢; 杨熹; 盛江; 叶继春
其他发明人：
专利权人：宁波英飞迈材料科技有限公司; 中国科学院宁波材料技术与工程研究所