专利名称：高通量CVD装置
专利(申请)号：ZL201820744022.2
申请日期：2018-05-18
授权日期：2019-03-22 00:00:00
发明人：邬苏东; 汪晓平; 杨熹; 叶继春; 张欢; 项晓东; 盛江
其他发明人：
专利权人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所; 宁波英飞迈材料科技有限公司