中国科学院宁波材料技术与工程研究所

一种提高CVD石墨烯薄膜耐蚀性的方法

专利名称:一种提高CVD石墨烯薄膜耐蚀性的方法
专利(申请)号:ZL201810724388.8
申请日期:2018-07-04
授权日期:2021-01-01 00:00:00
发明人:赵文杰; 吴英豪; 祝欣宇; 沈路力; 曾志翔; 王立平; 薛群基
其他发明人:
专利权人:中国科学院宁波材料技术与工程研究所