专利名称：一种黑硅钝化膜、其制备方法及应用
专利(申请)号：ZL201810496376.4
申请日期：2018-05-22
授权日期：2021-04-30 00:00:00
发明人：叶继春; 廖明墩; 曾俞衡; 闫宝杰; 高平奇; 王丹; 童慧; 全成; 张志
其他发明人：
专利权人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所