一种DLC膜层的表面处理方法
专利名称:一种DLC膜层的表面处理方法
专利(申请)号:ZL201810260992.X
申请日期:2018-03-28
授权日期:2021-09-28 00:00:00
发明人:王永欣; 李晨; 郭惠霞; 曾志翔; 薛群基
其他发明人:
专利权人:中国科学院宁波材料技术与工程研究所
专利(申请)号:ZL201810260992.X
申请日期:2018-03-28
授权日期:2021-09-28 00:00:00
发明人:王永欣; 李晨; 郭惠霞; 曾志翔; 薛群基
其他发明人:
专利权人:中国科学院宁波材料技术与工程研究所