二硫化钼/二硫化钨多层掺钽薄膜及其制备方法与应用
专利名称:二硫化钼/二硫化钨多层掺钽薄膜及其制备方法与应用
专利(申请)号:ZL202010716602.2
申请日期:2020-07-23
授权日期:2021-10-26 00:00:00
发明人:蒲吉斌; 曾春; 王海新; 王立平; 薛群基
其他发明人:
专利权人:中国科学院宁波材料技术与工程研究所
专利(申请)号:ZL202010716602.2
申请日期:2020-07-23
授权日期:2021-10-26 00:00:00
发明人:蒲吉斌; 曾春; 王海新; 王立平; 薛群基
其他发明人:
专利权人:中国科学院宁波材料技术与工程研究所