一种高增透减反射膜及其制备方法
专利名称:一种高增透减反射膜及其制备方法
专利(申请)号:ZL202010264897.4
申请日期:2020-04-07
授权日期:2021-10-29 00:00:00
发明人:宋伟杰; 徐云飞; 鲁越晖; 张景; 艾玲; 娄雪勤; 舒潘静
其他发明人:
专利权人:宁波材料所杭州湾研究院; 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
专利(申请)号:ZL202010264897.4
申请日期:2020-04-07
授权日期:2021-10-29 00:00:00
发明人:宋伟杰; 徐云飞; 鲁越晖; 张景; 艾玲; 娄雪勤; 舒潘静
其他发明人:
专利权人:宁波材料所杭州湾研究院; 中国科学院宁波材料技术与工程研究所