一种金属掺杂非晶碳薄膜材料、其制备方法与应用
专利名称:一种金属掺杂非晶碳薄膜材料、其制备方法与应用
专利(申请)号:ZL201910050752.1
申请日期:2019-01-20
授权日期:2022-03-04 00:00:00
发明人:张栋; 汪爱英; 郭鹏; 柯培玲; 孙丽丽
其他发明人:
专利权人:中国科学院宁波材料技术与工程研究所
专利(申请)号:ZL201910050752.1
申请日期:2019-01-20
授权日期:2022-03-04 00:00:00
发明人:张栋; 汪爱英; 郭鹏; 柯培玲; 孙丽丽
其他发明人:
专利权人:中国科学院宁波材料技术与工程研究所