专利名称：一种无损检测导电氧化物薄膜电学性能的方法
专利(申请)号：ZL201911397370.2
申请日期：2019-12-30
授权日期：2022-06-10 00:00:00
发明人：陈玉云; 黄峰; 李朋; 孟凡平
其他发明人：
专利权人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所