专利名称：一种叠层薄膜钝化接触结构的制备方法及其应用
专利(申请)号：ZL201910594527.4
申请日期：2019-07-03
授权日期：2022-09-23 00:00:00
发明人：叶继春; 曾俞衡; 廖明墩; 闫宝杰; 王志学; 杨清; 郭雪琪; 芮哲
其他发明人：
专利权人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所