专利名称：一种金刚石膜生长方法、具有金刚石膜的硅片与应用
专利(申请)号：ZL202010373977.3
申请日期：2020-05-06
授权日期：2023-06-20 00:00:00
发明人：杨国永; 江南
其他发明人：
专利权人：宁波材料所杭州湾研究院; 中国科学院宁波材料技术与工程研究所