专利名称：超薄氮氧化硅界面材料、隧穿氧化钝化结构及其制备方法和应用
专利(申请)号：CN202210368180.3
申请日期：2022-03-23
授权日期：2024-12-20 00:00:00
发明人：叶继春; 曾俞衡; 邢海洋; 马典; 刘伟; 闫宝杰; 廖明墩
其他发明人：
专利权人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所