专利名称：一种晶圆检测设备用无铁芯直线电机
专利(申请)号：ZL202410266549.9
申请日期：2024-03-08 00:00:00
授权日期：2024-06-14 00:00:00
第一发明人：张杰
其他发明人：张杰; 李令臣; 李荣; 张驰
专利权人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所