空腔型体声波谐振器及其制作方法
专利名称:空腔型体声波谐振器及其制作方法
专利(申请)号:ZL202310394291.6
申请日期:2023-04-07 00:00:00
授权日期:2024-06-25 00:00:00
第一发明人:邓立琼
其他发明人:邓立琼; 郭炜; 叶继春
专利权人:中国科学院宁波材料技术与工程研究所
专利(申请)号:ZL202310394291.6
申请日期:2023-04-07 00:00:00
授权日期:2024-06-25 00:00:00
第一发明人:邓立琼
其他发明人:邓立琼; 郭炜; 叶继春
专利权人:中国科学院宁波材料技术与工程研究所