中国科学院宁波材料技术与工程研究所

一种集成主动阻尼的精密运动平台及其控制架构

专利名称:一种集成主动阻尼的精密运动平台及其控制架构
专利(申请)号:ZL202211125355.4
申请日期:2022-09-16 00:00:00
授权日期:2022-12-20 00:00:00
第一发明人:张驰
其他发明人:张驰; 桑娜; 黄晓路; 余宏涛; 汪惟桢; 任建泽; 杨桂林
专利权人:中国科学院宁波材料技术与工程研究所