专利名称：大幅面旋转激光高分辨率的精密激光加工设备
专利(申请)号：ZL202222104377.4
申请日期：2022-08-10 00:00:00
授权日期：2022-11-29 00:00:00
第一发明人：陈晓晓
其他发明人：陈晓晓; 陈涛; 张文武
专利权人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所