专利名称：一种金刚石薄膜沉积设备
专利(申请)号：ZL202221710233.7
申请日期：2022-07-01 00:00:00
授权日期：2022-11-18 00:00:00
第一发明人：杨国永
其他发明人：杨国永; 鲁云祥; 王博; 马洪兵; 宋惠; 褚伍波; 江南
专利权人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所