专利名称：一种压阻式自检测自激励SECM探针
专利(申请)号：ZL202221581231.2
申请日期：2022-06-23 00:00:00
授权日期：2022-10-21 00:00:00
第一发明人：沈彩
其他发明人：沈彩; 杨静茹; 刘兆平
专利权人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所