专利名称：一种二极溅射靶枪
专利(申请)号：ZL202220387468.0
申请日期：2022-02-25 00:00:00
授权日期：2022-08-30 00:00:00
第一发明人：苏冠华
其他发明人：苏冠华; 曹彦伟; 张如意
专利权人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所