专利名称：一种氮化硅先驱体的制备方法
专利(申请)号：ZL202210144138.3
申请日期：2022-02-17 00:00:00
授权日期：2023-08-15 00:00:00
第一发明人：李天昊
其他发明人：李天昊; 宋育杰; 何流; 黄庆; 黄政仁
专利权人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所; 宁波杭州湾新材料研究院