一种单晶薄膜的制备方法以及单晶超导约瑟夫森结的制备方法
专利名称:一种单晶薄膜的制备方法以及单晶超导约瑟夫森结的制备方法
专利(申请)号:ZL202111622837.6
申请日期:2021-12-28 00:00:00
授权日期:2024-01-09 00:00:00
第一发明人:陈卫
其他发明人:陈卫; 曹彦伟; 张如意
专利权人:中国科学院宁波材料技术与工程研究所
专利(申请)号:ZL202111622837.6
申请日期:2021-12-28 00:00:00
授权日期:2024-01-09 00:00:00
第一发明人:陈卫
其他发明人:陈卫; 曹彦伟; 张如意
专利权人:中国科学院宁波材料技术与工程研究所