专利名称：一种碳化VAlN硬质固体润滑涂层及其制备方法
专利(申请)号：ZL202110959263.5
申请日期：2021-08-20 00:00:00
授权日期：2023-09-29 00:00:00
第一发明人：柯培玲
其他发明人：柯培玲; 张玉鹏; 汪爱英; 王振玉; 张栋
专利权人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所