专利名称：隧穿氧化层钝化结构及其制作方法与应用
专利(申请)号：ZL202110740139.X
申请日期：2021-06-30 00:00:00
授权日期：2023-05-16 00:00:00
第一发明人：叶继春
其他发明人：叶继春; 刘伟; 闫宝杰; 卢琳娜; 曾俞衡; 廖明墩; 郑晶茗; 刘尊珂
专利权人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所