专利名称：直线驱动装置及直线驱动装置系统误差的校正方法
专利(申请)号：ZL202110714156.6
申请日期：2021-06-25 00:00:00
授权日期：2024-04-16 00:00:00
第一发明人：陈庆盈
其他发明人：陈庆盈; 杨桂林; 王冲冲; 戴俊杰; 张驰
专利权人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所