中国科学院宁波材料技术与工程研究所

一种陶瓷孔洞阵列结构减反膜及其制备方法

专利名称:一种陶瓷孔洞阵列结构减反膜及其制备方法
专利(申请)号:ZL202110281101.0
申请日期:2021-03-16 00:00:00
授权日期:2022-12-06 00:00:00
第一发明人:高俊华
其他发明人:高俊华; 汪湾; 曹鸿涛; 胡海搏
专利权人:中国科学院宁波材料技术与工程研究所