专利名称：基于光束调制的复合型精密激光抛光方法及加工系统
专利(申请)号：ZL202110273785.X
申请日期：2021-03-15 00:00:00
授权日期：2022-11-18 00:00:00
第一发明人：陈晓晓
其他发明人：陈晓晓; 张文武; 李源; 王吉; 王云峰
专利权人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所