专利名称：一种制备沉积材料的方法、化学气相沉积装置
专利(申请)号：ZL202110031127.X
申请日期：2021-01-11 00:00:00
授权日期：2024-01-19 00:00:00
第一发明人：江南
其他发明人：江南; 邓丽芬; 王博; 易剑; 李赫
专利权人：宁波材料所杭州湾研究院; 中国科学院宁波材料技术与工程研究所