专利名称：一种多弧离子镀引弧装置
专利(申请)号：ZL202011564072.0
申请日期：2020-12-25 00:00:00
授权日期：2022-12-23 00:00:00
第一发明人：胡方勤
其他发明人：胡方勤; 宋振纶; 郑必长; 许赪
专利权人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所