专利名称：一种激光诱导等离子体微细加工装置及方法
专利(申请)号：ZL202011451342.7
申请日期：2020-12-10 00:00:00
授权日期：2023-04-07 00:00:00
第一发明人：王玉峰
其他发明人：王玉峰; 王斌; 王海涛; 张文武
专利权人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所