一种自驱动MSM紫外探测器及其制备方法
专利名称:一种自驱动MSM紫外探测器及其制备方法
专利(申请)号:ZL202011324348.8
申请日期:2020-11-23 00:00:00
授权日期:2024-04-02 00:00:00
第一发明人:郭炜
其他发明人:郭炜; 国琛雨; 陈荔; 叶继春
专利权人:中国科学院宁波材料技术与工程研究所
专利(申请)号:ZL202011324348.8
申请日期:2020-11-23 00:00:00
授权日期:2024-04-02 00:00:00
第一发明人:郭炜
其他发明人:郭炜; 国琛雨; 陈荔; 叶继春
专利权人:中国科学院宁波材料技术与工程研究所