专利名称：镍基靶材及其制备方法和应用
专利(申请)号：ZL202011275834.5
申请日期：2020-11-16 00:00:00
授权日期：2023-01-03 00:00:00
第一发明人：裴宇娟
其他发明人：裴宇娟; 曹彦伟; 张如意; 彭邵勤; 宋洋
专利权人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所