专利名称：真空设备用小车送料装置
专利(申请)号：ZL202010090654.3
申请日期：2020-02-13 00:00:00
授权日期：2022-03-15 00:00:00
第一发明人：胡方勤
其他发明人：胡方勤; 宋振纶; 郑必长; 杨丽景; 张青科; 赵国田; 旷鑫文; 张太鑫
专利权人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所; 包头希迪瑞科技有限公司