一种中空式一维精密定位平台
专利名称:一种中空式一维精密定位平台
专利(申请)号:ZL201922201506.X
申请日期:2019-12-10 00:00:00
授权日期:2020-12-01 00:00:00
第一发明人:杨淼
其他发明人:杨淼; 杨桂林; 张驰; 黄晓路; 余宏涛; 桑娜
专利权人:中国科学院宁波材料技术与工程研究所
专利(申请)号:ZL201922201506.X
申请日期:2019-12-10 00:00:00
授权日期:2020-12-01 00:00:00
第一发明人:杨淼
其他发明人:杨淼; 杨桂林; 张驰; 黄晓路; 余宏涛; 桑娜
专利权人:中国科学院宁波材料技术与工程研究所