专利名称：一种平面三自由度精密定位平台、其使用方法与控制方法
专利(申请)号：ZL201911262018.8
申请日期：2019-12-10 00:00:00
授权日期：2023-09-12 00:00:00
第一发明人：杨淼
其他发明人：杨淼; 杨桂林; 张驰; 余宏涛; 黄晓路; 桑娜
专利权人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所