专利名称：用于垫片零件物理气相沉积镀膜的工装系统
专利(申请)号：ZL201921719223.8
申请日期：2019-10-14 00:00:00
授权日期：2020-06-09 00:00:00
第一发明人：郭武明
其他发明人：郭武明; 王永欣; 李金龙; 王海新; 张景文; 管文; 王立平
专利权人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所