专利名称：一种基于管式炉的快速卷对卷气相沉积制备装置
专利(申请)号：ZL201921464886.X
申请日期：2019-09-04 00:00:00
授权日期：2020-05-26 00:00:00
第一发明人：林景晓
其他发明人：林景晓; 汪伟; 刘兆平
专利权人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所