专利名称：柔性基底表面兼具压阻性能与韧性的非晶碳膜的制备方法及其应用
专利(申请)号：ZL201910533860.4
申请日期：2019-06-19 00:00:00
授权日期：2021-06-11 00:00:00
第一发明人：汪爱英
其他发明人：汪爱英; 马鑫; 郭鹏; 张栋; 赵玉龙; 张琪
专利权人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所