中国科学院宁波材料技术与工程研究所

空间多光束可控耦合激光加工装置及方法

专利名称:空间多光束可控耦合激光加工装置及方法
专利(申请)号:ZL201910454335.3
申请日期:2019-05-28 00:00:00
授权日期:2020-09-18 00:00:00
第一发明人:王恒
其他发明人:王恒; 陈晓晓; 张文武; 张广义
专利权人:中国科学院宁波材料技术与工程研究所