专利名称：一种用于真空镀膜的螺杆传送装置
专利(申请)号：ZL201711219101.8
申请日期：2017-11-28 00:00:00
授权日期：2019-10-15 00:00:00
第一发明人：宋振纶
其他发明人：宋振纶; 胡方勤; 丁雪峰; 杨丽景; 郑必长; 张青科; 姜建军
专利权人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所; 包头中科金蒙磁材绿色防护技术研发中心有限公司; 包头希迪瑞科技有限公司