专利名称：一种多孔硅薄膜的制备装置
专利(申请)号：ZL201721178682.0
申请日期：2017-09-14 00:00:00
授权日期：2018-03-13 00:00:00
第一发明人：邬苏东
其他发明人：邬苏东; 芦子玉; 叶继春; 夏金才; 张欢; 杨熹; 杨阵海
专利权人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所; 宁波升日太阳能电源有限公司