中国科学院宁波材料技术与工程研究所

一种基于熔融直写的三维光子器件互连方法

专利名称:一种基于熔融直写的三维光子器件互连方法
专利(申请)号:ZL201710756778.9
申请日期:2017-08-29 00:00:00
授权日期:2019-10-18 00:00:00
第一发明人:郭建军
其他发明人:郭建军; 唐玉蓉; 徐鼎鼎; 雷雨; 许高杰
专利权人:中国科学院宁波材料技术与工程研究所